質量流量計

Horiba（堀場）： 多氣體，多量程解決方案，廣泛應用與半導體、光伏等行業，高精度±1%S.P.，響應快，多種信號通訊兼容。

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Brooks：最寬的流量和壓力適用范圍，高精度和可重復性，超低流量過程可達到的最高精度。

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